真空微蒸发镀覆工艺参数对镀层质量及金刚石性能的影响
本文通过对金刚石镀 Ti 过程中镀层形成的演化过程的测试观察，研究了镀覆温度、时间等工艺参数的改变对镀层厚度控制及其随后的性能变化等。
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