真空阴极电弧沉积TiAlN薄膜的应用研究-钨钼稀土标准知识网

真空阴极电弧沉积TiAlN薄膜的应用研究

为了提高TiN涂层刀具的耐磨性，采用钦铝合金靶，以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,AI)N涂层。对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究，并试验了(Ti, A1) N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命。