您的浏览器禁用了脚本运行,请打开脚本在尝试!
微加工中原子力显微镜金刚石针尖的磨损研究
考察了用原子力显微镜对单晶硅进行微加工时金刚石针尖的磨损行为,对针尖的磨损率、磨损机理以及针尖磨损对微加工过程的影响进行了实验研究和理论分析。

大小:269KB
网友评论

您目前是匿名发表 登录 | 注册